近日，由中国科协组织开展的第八届优秀科技论文遴选计划结果揭晓，南华大学机械工程学院郭剑联合西南交通大学钱林茂教授团队于2022年7月在Friction(卓越行动计划领军期刊)发表的论文入选第八届中国科协优秀科技论文。
本论文归属制造业与材料学科集群，来自本集群的9大学科专家共推荐论文684篇，经529名评审专家网上评议和21名专家组成的终审评审专家委员会现场评审，最终评选出22篇优秀论文。本论文是2023年度摩擦学研究领域唯一的获奖论文。
化学机械抛光(CMP)是获得原子/近原子级平整度GaN衬底的先决条件。由于缺乏对GaN晶体机械-化学耦合微观去除机理的科学认识，其CMP技术尚存效率低、缺陷控制难的问题。本论文结合微区XPS和TEM等分析，总结出GaN表面因悬键结构引起的差异性摩擦化学去除模型—表面悬键与OH-间的斥力是决定摩擦化学反应活性的原因。本论文可为GaN衬底和晶圆表面高效率、低损伤的超精密加工提供重要的理论依据。
郭剑博士长期致力于机械摩擦学和微纳制造的研究，进入南华大学工作以来已在多种国际权威期刊发表论文10余篇，因科研业绩突出，于2022年入选南华大学青年优秀人才。
责编：胡广宇 编辑：邱梦
来源：湖南日报
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